AlixLabs

AlixLabs 是一家來自瑞典的半導體設備公司，開創了 Atomic Pitch Splitting（APS™）技術。APS™ 是一種基於原子層蝕刻（ALE）的圖形化技術，旨在簡化埃米時代的先進晶片製造。AlixLabs 總部位於瑞典隆德，致力於開發乾式蝕刻解決方案，協助晶片製造商降低圖形化製程複雜度、提升關鍵尺寸控制能力，並支援先進邏輯與記憶體元件持續微縮。

APS™ 可與微影與蝕刻製程相輔相成，透過無沉積的 pitch splitting 方法，降低對日益複雜之多重圖形化方案的依賴。隨著台灣半導體生態系在先進製造領域持續保持領先，AlixLabs 旨在為晶圓代工、記憶體製造、設備合作夥伴與製程整合團隊提供實用解決方案，協助實現更具成本效益的微縮。

隨著首款商用 APS™ 系統 Sax Forma 的推出，AlixLabs 正邁向更深入的客戶合作、製程整合與產業化部署。

 

技術亮點

• APS™ demonstrated on 300 mm UMC and Intel wafers, demonstrating pitch splitting without EUV lithography.
• Atomic layer etch-based pitch splitting designed to reduce multi-patterning complexity.
• Compatible with existing lithography and etch flows for practical fab integration.
• Supports sub-10 nm patterning potential with atomic-scale precision.
• Winner of the IC Taiwan Grand Challenge Smart Manufacturing category, recognizing APS™ as a relevant solution for Taiwan’s semiconductor ecosystem.