半導體高科技廠房設施專區聚焦於晶圓廠建置與營運所需的各項關鍵基礎設施，展示涵蓋無塵室技術、高效能製程冷卻與氣體供應系統、機電整合、高純度水與廢水處理、等創新技術與產品。透過專區推動智慧工廠、綠色製造與永續發展的整體解決方案，加速次世代晶圓廠設施升

鎖定技術與應用

SEMICON Taiwan 2026 高科技廠房設施專區參展廠商